掃描電子顯微鏡的主要參數(shù)有哪些？
更新時(shí)間：2023-06-30 點(diǎn)擊次數(shù)：4651
掃描電子顯微鏡是一種常用的顯微鏡產(chǎn)品，主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品。掃描電子顯微鏡的主要參數(shù)有哪些呢?今天小編就來具體介紹一下，希望可以幫助用戶更好的應(yīng)用產(chǎn)品。
放大率
與普通光學(xué)顯微鏡不同，在SEM中，是通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到。
所以，SEM中，透鏡與放大率無關(guān)。
場深
在SEM中，位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而成象。這一小層的厚度稱為場深，通常為幾納米厚，所以，SEM可以用于納米級(jí)樣品的三維成像。
成象
次級(jí)電子和背散射電子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次級(jí)電子。
表面分析
歐革電子、特征X射線、背散射電子的產(chǎn)生過程均與樣品原子性質(zhì)有關(guān)，所以可以用于成分分析。但由于電子束只能穿透樣品表面很淺的一層(參見作用體積)，所以只能用于表面分析。
表面分析以特征X射線分析常用，所用到的探測器有兩種：能譜分析儀與波譜分析儀。前者速度快但精度不高，后者非常精確，可以檢測到“痕跡元素”的存在但耗時(shí)太長。
工作距離
工作距離指從物鏡到樣品高點(diǎn)的垂直距離。
如果增加工作距離，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。
如果減少工作距離，則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。
通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。
